KC-ZD400单室高真空电阻式镀膜设备

KC-ZD400单室高真空电阻式镀膜设备

发布时间：2019-11-22 13：15：42

截止时间：2019-11-27 14：00：00

基本信息：

申购主题：KC-ZD400单室高真空电阻式镀膜设备

成交总额：328000.00 人民币

送货时间：2019-11-28

报价要求：

安装要求：免费上门安装（含材料费）

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址：******

备注说明：1907002321

采购结果

序号 采购项 品牌/型号/厂家/产地 规格参数 质保及售后服务 数量单位/单价 成交总价 成交供应商

1 KC-ZD400单室高真空电阻式镀膜设备 品牌：沈阳科诚

型号：1、金属真空室腔体：1套 1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸D400*450mm，前后门各配DN100视窗1套；

2) 底部：金属源接口3套，JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套；

3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；

4) 左侧：CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套。

2、金属源系统：1套 1) 金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，配气动挡板，1KW直流电源2台（数字显示），电流调整精度0.1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；

2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。

4、样品台系统：1套 1) 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；

2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；

3) 基片挂架：130×130mm基片台，比如可安装15×15mm基片25片，可按照客户定制；

4) 基片挡板：电动挡板。

5、真空泵机组：1套 1) JTFB-600风冷复合分子泵1台；

2) VRD-30双级泵1台 3) CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台；

4) CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；

5) GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；

6) GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；

7) DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；

8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；

9) ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。

6、膜厚检测系统：1套 1) 膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套；

2) 膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。

7、设备机架：1套 1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；

2) 3英寸万向轮4件，移动调整；

3) M16地脚4件，锁紧定位。

厂家：沈阳科诚真空技术有限公司

产地：辽宁沈阳

8、其他电控系统：1套（电气控制采用电控柜与设备机架内置） 1） 电控柜：1台；

2） 烘烤照明电源：1台；

3） 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台；

9、其他技术参数： 1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；

2) 供电：～220V两相供电系统（峰值5KW）；

3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；

4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；

5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。

序 号 名 称 规 格 单位 数量 备 注 真空室腔体 1 金属真空室腔体 D400×450mm 套 1 2 真空室后门 铰链式，配单视窗 套 1 3 真空室前门 横拉式，配单视窗 套 1 金属/有机源系统 1 金属源蒸发源 气动挡板 套 3 2 金属蒸发源电源 1KW 套 2 样品台系统 1 样品台组件 套 1 2 样品台挡板 电动 套 1 真空泵机组 1 风冷复合分子泵 型号：JTFB-600，DN150CF接口 台 1 2 双级泵 VRD-30 台 1 3 气动超高真空插板阀 CCQ-150CF 台 1 4 超高真空气动挡板阀 CDQ-J40B-CF 台 1 5 高真空气动挡板阀 GDQ-J16B-KF 台 1 6 高真空气动挡板阀 GDQ-J40B-KF 台 1 7 真空电磁充气阀 DDC-JQ40-KF 台 1 8 三通 KF—40 台 1 9 真空泵连接管道 套 2 10 数显真空计 型号：ZDF-5227，一高一低 套 1 膜厚监测系统 1 石英晶振膜厚监控仪 美国infocon,SQC310两通道 套 1 2 进口水冷膜厚探头 美国MCVAC，配件：含震荡包等 套 2 设备机架 1 机架主体 套 1 2 小型制冷水机 套 1 3 小型无油静音气泵 套 1 电控系统 1 电控柜 套 1 2 烘烤照明装置 套 1 3 烘烤照明电源 台 1 4 总控电源 配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等 套 1 外协，标准件 1 304不锈钢表面亚光电解钝化处理 1 2 各种无氧铜垫、氟橡胶圈以及各种标准件 1 按行业标准提供服务 数量单位：1.0 单价：328000.00(人民币) 328000.00(人民币) 北京圣嘉宸科贸有限公司