高压供气集成系统

采购单位：中船双瑞（洛阳）特种装备股份有限公司 省份： 河南 城市： 洛阳市 联系人： 潘洋洋 联系电话： 151****3627 报价截止时间(时间戳)： 2026-11-01 公告正文： 供应商寻源公告名称：高压供气集成系统

供应商寻源公告编号：SUXY202610270037

提报企业：中船双瑞（洛阳）特种装备股份有限公司

发布时间：2026-10-28 10：29：55

响应截止时间：2026-11-01 00：00：00序号

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资质要求

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1 561010 科研外协 科研外协 套 1.0 2026-12-10 技术工艺要求 质量体系2 561010 科研外协 科研外协 套 2.0 2026-12-10 技术工艺要求 质量体系说明与附件

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供应商联系信息

姓名：潘**

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氧化剂/还原剂配气系统

技术要求

编制：张子

审核：王映

中船双瑞洛阳特种装备股份有限公司

二零二六年八月

配气系统技术要求

1.概述

本项目配气系统包含1套氧化剂配气系统和2套还原剂配气系统，氧化剂配气系统主要用于对4A激光器所用的氧化剂储存系统进行原料气的配气加注；还原剂配气系统主要用于对4A激光器所用的还原剂储存系统进行原料气的配气加注。

氧化剂配气系统和还原剂配气系统结构及配套组成相似，包括自动配气台、混气储罐、增压系统、真空泵、电气控制系统等，氧化剂混合原料气为NF3混气，还原剂混合原料气为C2H4混气、D2混气。

配气系统结构设计合理、配气系统内所有高压应用零部件均为国内外知名品牌，具有安全可靠、质量稳定、便于安装和易于维护等优点。

氧化剂、还原剂配气系统包含几个部分：

序号 产品名称 功能描述 数量

1 氧化剂配气系统 包含自动配气台、混气储罐、增压系统、真空泵、电气控制系统等。

氧化剂混合原料气为NF3混气，通过系统自动完成混合，并增压至20~35MPa，充入客户工件；

1套2 还原剂配气台系统 包含自动配气台、混气储罐、增压系统、真空泵、电气控制系统等。

还原剂混合原料气为C2H4混气、D2混气，通过系统自动完成混合，并增压至20~35MPa，充入客户工件；

2套3 数据采集控制系统 远程控制氧化剂、还原剂配气系统的启停、压力调节与安全联锁，支持多模式运行切换及故障自诊断功能，确保试验过程全程受控、数据实时可溯。

1套

2.招标范围

*2.1本项目配气系统包含全套工艺设备供货以及安装调试服务。配气系统所需主要配件

及数量如下表：

介质 NF3混气 C2H4混气 D2混气 备注

配气流量/Nm3/h ≥50 ≥60 ≥55 --

混气储罐/个 2 2 1 缓存混合气，使混合均匀

增压系统/套 1 1 1 甲方提供

配气台/台 1 1 1 将两种单一组分原料气配制成规定范围内的任意比例混合气真空泵/台 1 1 1 抽除预混管路中的杂质气体

中标方提供上述成套设备之间的联络管道、支吊架以及电气和控制系统，同时包括整个系统的设计、运行、安装、调试。

三套增压系统不在本次招标供货范围内，但需要预留好增压系统的安装位置以及水、电、气等所需外界资源的连接接口，设备所在建筑物/构筑物的土建、通风、照明、避雷、消防、暖通等的设计及施工等工作由第三方负责。

*2.2氧化剂配气系统NF3供气管路要求采用金属垫片面密封（VCR）连接形式，还原剂配气系统管路要求采用锥面螺纹连接形式

*2.3本项目氧化剂配气系统NF3供气管路管路焊接工作由招标方负责，中标方提供管路接头和接头连接件。

*2.4本项目用隔膜压缩机由招标方提供，中标方应明确进出口要求

*2.5投标人负责氧化剂配气系统、还原剂配气系统的设计、制造、试验、预验收、包装、运输、装卸、保险、现场安装、调试、技术服务及培训等。

*2.6本项目为交钥匙工程，中标方须保证满足最终用户氧化剂配气系统、还原剂配气系统配气系统技术要求，并完成全套安装调试验收工作，并通过最终用户验收。

3.设备需求一览表

序号 设备名称 数量及单位 交货期 交货地点

1 氧化剂配气系统 1套 不得晚于2026年12月10日 招标人指定现场2 还原剂配气系统 2套 不得晚于2026年12月10日 招标人指定现场

4.设备总体技术要求

4.1设备总体功能要求

氧化剂配气系统介质为：NF3、N2、He；还原剂配气系统介质为：C2H4、N2、He

D2、He。气体混合通过质量流量控制系统精确调节，在预混罐混合至满足混气比例需求后，向后端隔膜压缩机供气，通过自动控制系统控制输出压力，充入客户工件内。

氧化剂、还原剂配气系统主要包含：自动配气台、混气储罐、增压系统、真空泵、气体浓度检测单元、电气控制系统等。

自动配气台：自动配气台主要功能是将气体按照额定比例进行混合，气体混合是动态混合过程，采用流量控制器对各组分的气体瞬时流量进行控制，按照比例进行各组分气体流量分配，流量控制器工作压力1MPa，气源采用15MPa钢瓶气，因此在自动配气台气源管路上配置气控调压阀，将气源压力调节至1MPa，满足流量控制器正常工作需求。

混气储罐：混气储罐分为50L不锈钢预混罐和1m³不锈钢储气罐，自动配气台将各组分气体按照比例混合至预混罐内，预混罐配置气体分析仪，气体分析仪采集检测到气体混合比例接近设定值时，预混完成，预混合罐内的混合气体往下游1m³不锈钢储气罐内供气。

气体浓度检测单元：采用气体浓度检测仪对混合气体气体浓度进行检测和标定，NF3配气系统和C2H4配气系统分别由两种气体混合情况，因此配置两台气体分析仪，两台气体分析仪有两条独立的检测支路，设置气控阀门进行自动切换。

由于气体分析仪工作压力较低，一般低于0.2MPa，因此在气体精度检测管路上设置一个手动减压阀，将1MPa混合气体减压至0.1～0.2MPa。

真空泵：为保障气体混合精度，在试验开始前要为配气系统及储罐抽真空，真空泵系双级直联结构旋片式真空泵，具有体积小、重量轻、噪音低、启动方便等优点，并采用国际同类产品设计，尤其是噪声达到了国外同类产品指标。

同时安装了油泵结构装置，强制性迫使自动进油，克服了其它泵在通大气下不能工作等缺点。

此外，还有防止返油机构可靠，停泵永不返油，这样，用户可以避免安装电磁充气阀；

该型泵所有密封均采用氟橡胶，保证不漏油，油箱顶部采用"O"型圈密封经长期运转后，油箱顶部不渗油，不污染环境。

配气系统一共配置有2套抽真空单元，氧化剂配气系统配置一套，还原剂配气系统配置一套。

增压系统：增压系统配置隔膜压缩机，将0.5MPa～1MPa混合气体增压至35MPa供气输出，隔膜压缩机是一种特殊结构的容积式压缩机，气缸不需要润滑，密封性能非常好，压缩介质不与任何润滑剂接触，因此隔膜压缩机可以压缩纯度极高的气体，一般能达到99.999%的纯度。

隔膜压缩机特别适用于珍贵的稀有气体的压缩、输送、装瓶，另外对于腐蚀性极强、有毒、易燃易爆、有放射性的气体，也适宜采用隔膜压缩机。

隔膜压缩机气缸散热性能良好，可以采用较高的压缩比，因而它能提供的压力范围较广，可以从很低的压力直到35MPa(G)。

每套配气系统配置两台隔膜压缩机，单台流量不低于35nm³/h，两台压缩机进出口分别设置气控阀门，两台隔膜压缩机可同时启动也可以单独启动，互不影响。

电气控制系统分为手动和自动两种控制形式，均在试验操作台上完成，试验操作台用于远程控制试验进行，并记录试验数据。

主要组成部件有工控机、PLC及模块、显示器、硬盘机等。

本系统控制软件为中标方专业开发，试验前，根据测试要求设置相关压力及时间参数，设置完成后一键式启动，系统自动运行，过程中无需人为干预，记录试验中的所有数据，可生成压力-时间曲线，试验结束后控制工作试验台泄压。

试验中的所有试验数据经处理后生成相应的测试报告，可存储并导出。

配置急停按钮，出现紧急情况拍下，系统停止运行，报警灯提示，保证系统及操作人员安全。

三套配气系统通过一套电气控制系统进行控制。

4.2设备总体技术要求

*出口压力20-35MPa可调

*配气精度≤±2%，配气精度=(混气中某气体组分实际的百分含量-理论含量)/理论含量

*NF3混气配制系统需要分别适应与He和N2混合，配气流量≥50Nm3/h；C2H4混气配制系统需要分别适应与He和N2混合，配气流量≥60Nm3/h；D2混气配制系统只需满足与He混合，配气流量≥55Nm3/h

系统满足根据设置的混合气比例自动配制、压缩出高压混合气体，而且配气比例（NF3：25%-50%；C2H4：4%-5%；D2：40%-50%）可调，系统入口由用户提供10MPa一元钢瓶气

配气台与混气储罐的泄漏率控制在≤10-6Pa·m3/s

配置气体分析仪，用于检测混气的配比含量

压缩机材质为不锈钢，内表面抛光、去油、脱脂处理,其中NF3混气采用抗氟油

压缩机、流量计、电气动元件等均采用防爆式的

储罐与压缩机设置安全阀

当出现配比过高或过低、气体泄漏等情况时，发出报警并显示故障信息。

4.3设备技术参数要求

1）工作介质：氧化剂配气系统：NF3、N2、He

还原剂配气系统：C2H4、N2、He

还原剂配气系统：D2、He

2）操作方式：远程自动操作

3）气源压力：2~15MPa

4）增压压力：20~35MPa可调

5）压力检测精度：压力变送器：0.25级

6）流量控制器精度：1%FS

7）混配气精度：≤2%F.S

8）管路及连接件材质：SS316/316L，内外抛光

9）进口管路过滤器：7μm

10）预混罐：50L，不锈钢304材质

11）混气储罐：容积1m³，不锈钢304材质

12）真空泵：极限真空0.05Pa，抽速100m3/h，ExDIIBT4

13）系统接口：

介质输入接口：1/2”FNPT

驱动输入接口：1/2”FNPT

增压输出接口；3/8”MP

排气接口：1/2”FNPT。

14）管路酸洗、除油除杂；NF3系统管道严格脱油脱脂

4.4设备工艺原理图要求

压缩空气输出b-B--h-hB--E-ZZh

MarIPa二位三通电磁阀

1/2FPT

氮气

0-0.4Pa

Max.IMFa电

71压力表

1/2FNTBB-

过滤减压阀三位三通电磁阀

品检测口

气体分

气动切换阈折快

0-2SMPa电气比例阀0-1.6Pa品检测口

压力传感器压力传感器0-1.6MFa气体分

网折快

N3进气手动减压阀气动切换阀压力传感器品安全阀

2-1SP

8日气动检测阀

1/2FNT气动阀过器气控减压阀流量控制器气动阀单向阀缓冲罐气动阀品

100L

品单向间气动阀

气动阀膜压机

0-25MPa电气比例阀0-1.6Pa0-1.6Pa气动阀0-60MPa压力传感器昌压力传感器压力传感器压力传感器

He进气缓冲罐压力表品

品供气输出

2-1SPa

W供气输出500-1.6Ma气体混合器INPa压力传感器气动阀1/2FNT+欢样闽冲品安全阀品100IL气动阀气动阀品单向同气动阀时任力表气动阀膜压机气动抽空阀气动泄压阀口0-0.06Pa绝压传感器血真空泵+手动压阀

自动配气台

单向阀

排气输出

HI/2PPT

图4-1氧化剂配气系统工艺原理图

B-h-7---B-

压缩空气输出

Max.INPa二位三通电磁阀

1/2FNT

氮气

Mar.IPa压力表

0-0.4NPa

1/2FNPTWBB-

过滤减压阀三位三通电磁阀

品检测口

气体分

气动切换阀折

0-25Pa电气比例阀0-1.6MPa品检测口

压力传感器压力传感器A气体分

新优0-1.6Pa

C2H4进气手动减压阀压力传感器气动切换阀压力传感器品品安全阀DT

2-1SPa-≠P

气动阀过德器区日气动检测阀

1/2FNPT流量控制器气动阀单向阀缓冲罐k气控诚压阀流量控制器气动阀品

1000L

品单向阀气动阀

气动阀

膜压机

0-25PPa电气比例阀0-1.6MPa0-1.6Pa气动阀0-60MPa压力传感器压力传感器压力传感器

压力传感器

H进气缓冲诚压力表向

品供气输出

2-15Na品≠

W供气输出50L(-1.6MPa气体混合器IMPa压力传感器气动阀1/2FNPTH取样阀向品安全阀品缓冲罐1000L气动阀气动阀品膜压机单向阀气动阀压力表气动阀气动抽空阀气动压阀日0-0.06MPa绝压传感器真空泵手动压阀

自动配气台

单向阀

排气输出

11i/2FNPT

1/2FPT气动阀单向阀气动阀过滤器HI23-35MPa图4-2还原剂配气系统1工艺原理图h-h-/17h

压缩空气输出

Mar.IMPa二位三通电磁阀

1/2FNPT

氮气输入

Mar.1Pa

1/2FNPT-1

-

过滤减压阀三位三通电磁阀

0-0.4MPa

压力表

0-25MPa电气比例阀0-1.6Pa品检测口

气体分

压力传感器压力传感器

气动切换阀析仪

D2进气手动减压阀

安全阀

2-15MPa=关灭气动阀过i器

单向阀8日气动检测阀

1/2FNPT流量控制器气动阀气控减压阀流量控制器

气动阀单向阀气动阀

膜压机

0-1.6Pa

0-25MPa电气比例阀0-1.6MPa0-1.6Pa0-60Na压力传感器压力传感器压力传感器压力传感器

压力传感器

H进气缓冲罐缓冲罐血缓冲罐血缓冲罐面

品*品品PT供气输出

2-15Pa50L1000LW图4-3还原剂配气系统2工艺原理图-l23-35Pa

气动淮压阀日

手动世压阀

真空泵

单向阀

排气输出

1/2FNPT

5.设备核心部件技术要求

5.1自动配气台技术要求

自动配气台主要功能是将气体按照额定比例进行混合，气体混合是动态混合过程，采用流量控制器对各组分的气体瞬时流量进行控制，按照比例进行各组分气体流量分配。以氧化

剂配气系统举例：

氧化剂配气系统有NF3、He和N2三种混合气体，包含NF3和N2、NF3和He两种混合工况，氧化剂自动配气台包含NF3、He和N2三路气体输入管路，每路气体输入管路均配置气动阀、过滤器、气控减压阀、流量控制器、单向阀和压力变送器，因此在自动配气台气源管路上配置气控调压阀，将气源压力调节至1MPa，满足流量控制器正常工作压力需求。

各组分气体进入50L不锈钢储气罐内进行充分混合，50L不锈钢储气罐配置一条气体检测管路，管路上配置有气控检测阀、手动减压阀、压力表和气控切换阀，气体分析仪工作压力较低，一般低于0.2MPa，因此在气体精度检测管路上设置一个手动减压阀，将1MPa混合气体减压至0.1～0.2MPa。

分析仪，两台气体分析仪有两条独立的检测支路，设置气控阀门进行自动切换。

自动配气台的核心部件是输入路控制各组分气体流量的流量控制器，自动配气台配置的流量控制器采用热式原理，抗结晶、抗腐蚀，预热时间短，零漂小，可靠性高。

流量控制器可通过模拟型二次表和PLC进行设定和显示瞬时流量，也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。

具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。

5.2流量控制器技术要求

工作原理：热式原理

量程：5-500mln/min，1-30ln/min

准确度：±0.5%F.S(流量＜35%F.S)，±1.0%F.S(流量≥35%F.S)

量程比：流量控制器：50：1，流量计：100：1

重复精度：±0.2%F.S(流量＜35%F.S)

线性精度：±0.5%F.S(流量＜35%F.S)

防爆标志：ExiaIICT6Ga

防护等级：IP65

温度系数：零点：＜±0.05%F.S/℃，量程范围内：＜±0.1%F.S/℃

响应时间：＜2s（T98）

环境温度：5-45℃，保证精度：15-35℃

泄漏率：1*10-19Pa.m3/s(He)

预热时间：15min

输入输出信号：RS485/RS232(0-5V/4-20mA)

接触介质材质：SS316不锈钢

最大耐压：3MPa

最大操作压力：1MPa

工作压差：0.05-0.4MPa。

5.3气体分析仪技术要求

5.3.1NF3气体检测仪技术参数

检测气体：NF3

检测原理：进口热导式

检测量程：0-100%VOL

分辨率：0.1%VOL

精度：≤±2%FS

零点漂移：±2％FS/7d

量程漂移：±2％FS/7d

重复性：±2％FS

开机预热时间：≤30分钟

响应时间：T90≤30S

样气流量：500±100ml/min

工作环境：－5℃～＋45℃；≤90%RH

工作压力：0.05MPa≤入口≤0.25MPa

工作电压：24VDC

输出信号：4-20mA+RS485

仪器寿命：大于五年（正常使用），传感器寿命：大于两年（正常使用）。

5.3.2C2H4气体检测仪技术参数

检测气体：C2H4

检测原理：NDIR红外原理

检测量程：0-10%VOL

分辨率：0.1%VOL

精度：≤±2%FS

零点漂移：±2％FS/7d

量程漂移：±2％FS/7d

重复性：±2％FS

开机预热时间：≤30分钟

响应时间：T90≤30S

样气流量：500±100ml/min

工作环境：－5℃～＋45℃；≤90%RH

工作压力：0.05MPa≤入口≤0.25MPa

工作电压：24VDC

输出信号：4-20mA+RS485

仪器寿命：大于五年（正常使用），传感器寿命：大于两年（正常使用）。

5.3.3D2气体分析仪技术参数：

检测气体：D2

检测原理：MEMS薄膜分压原理

检测量程：0-100%VOL

分辨率：0.1%VOL

精度：≤±2%FS

零点漂移：±2％FS/7d

量程漂移：±2％FS/7d

重复性：±2％FS

开机预热时间：≤30分钟

响应时间：T90≤30S

样气流量：500±100ml/min

工作环境：－5℃～＋45℃；≤90%RH

工作压力：0.05MPa≤入口≤0.25MPa

工作电压：24VDC

输出信号：4-20mA+RS485。

5.4真空泵

极限真空度：≤0.5mbar

抽速：≥100m3/h

电源功率：380V/3KW

密封方式：油封涡旋

防爆等级：dⅡBT4。

5.5系统阀门

阀门类型：气动波纹管阀

阀体材质：SS316不锈钢

工作压力：17.2MPa

工作温度：-28~450℃。

5.6系统管路

管路选用不锈钢Tubing管，材质为316/316L不锈钢材质，内外壁抛光，执行标准为ASMEB31.3、ASTMA269-2015，提供管道材质报告。还原剂配气系统管路采用双卡套连接形式，氧化剂配气系统管道采用焊接形式。

管路根据压力不同，详细如下：

应用位置 还原剂配气系统 氧化剂系统

安装位置 气源输入管路 气源输入管路

最大工作压力 15MPa 15MPa

管路连接方式 双卡套密封形式 VCR连接

安装位置 增压输出管路 增压输出管路

最大工作压力 35MPa 35MPa

管路连接方式 锥面螺纹连接形式 锥面螺纹连接形式

5.7数据采集控制系统

数据采集控制系统为系统核心控制部分，采用PLC+IPC搭配结构。

试验操作台主要由工业计算机，西门子200系列PLC扩展以及配电和隔离模块组成，PLC通过变送器采集标准信号将信号值经过变换显示在电脑上，也可根据电脑上的流程界面操作每一个阀门并且查看每个阀门的状态，可查看每个传感器的值以及控制每个电气减压阀门的驱动气压力。

通过人机交互界面，由操作人员在试验时录入试验参数，远程控制系统按设定混气比例完成气体混合、增压后供给下游用气设备，整个试验进程进行远程控制及数据采集的功能，出现特殊情况立即提示并报警。

系统设置过压及过流以及接地保护，当系统超过设定压力后系统自动停机并报警提示用工控机/显示器采集

人机交互界面按钮

指示灯

数

据

传

递

数据采集与控制

动动

压

作作

力

指采指

令令集

电磁阀压力变送升压及泄

器压速度

户，当系统发生漏电等意外状况时，系统可第一时间切断电源以保护操作人安全。系统的整

体结构图如下：

图4-4电气设计结构图

上位采用labview组态软件，测试过程数据可实时保存，实时绘制压力/流量时间曲线，试验结果等数据可自动生成Execl文件格式，可自动生成定制测试报告。试验数据可实现结构化存储（包含并不限于任务号、跟踪卡号、产品序号、工序号、工步号等）。

主要设计功能：

1）软件采用模块化的方法，层次结构分明，模块功能清楚，接口关系及相互调用关系明确，模块独立方便维护，保证模块质量

2）可提供支持OPC/WebService/Modbus等协议的标准数据接口，通过以太网读写相关参数，并提供数据结构描述（如参数的地址、类型、意义、取值范围、读写权限等）

3）软件具备实用性、可靠性、可移植性及可维护性

4）软件可人为设置限定参数：包括产品充气压力大小、保压时间、充气速率等

5）设定参数后，一键启动，试验中系统将按照设定程序设定要求完成相关指令要求，整体运行自动化程度较高，精度控制准确，工作过程中，实时显示阀门状态、气源压力、产品压力等

6）试验结束后，过程数据将按照要求格式进行存储，操作人员可以另存、导出、打印。

7）具备RJ45接口满足TCP/IP网络协议、具备RS232(RS485)接口。

可供操作员对设备进行操作，系统可自动/手动充气，放气，混配。并且自动判断各个功能块的执行状态，实现气源配气，自动混配，后期增压控制。

参数设定界面可以设定所有系统相关的参数。

曲线显示界面可以实时显示系统的压力变化，并实时记录系统的压力曲线，结束采集后系统可在数据回放界面回放历史曲线。

数据回放界面可以通过选择历史路径选择要回放的数据，并可根据WORD以及EXCEL末模板生成附着曲线的报告。

6、系统组成清单

表6-1氧化剂配气系统(NF3/N2/He混配气,50NM3/h)组成清单序号 名称 数量 备注

1 隔膜压缩机(进气0.5-1MPa,输出35MPa,排量35NM3/h,介质NF3/N2/He，功率15kW) 22 气动波纹管阀(2.5kpsi,1/2"FR阳螺纹,常闭) 113 气动波纹管阀(2.5kpsi,接口1/2"OD,NC) 24 气动波纹管阀(2.5kpsi,接口1/4"OD,NC) 35 过滤器(6kpsi,1/2"FR阳螺纹,SS316,7u,烧结式) 16 过滤器(6kpsi,1/2"OD,SS316,7u,烧结式) 27 压力变送器(25MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,氢气H2,EXdIICT6,无显示,供电DC24V,电气接口M20*1.5外螺纹带5米电缆) 38 压力变送器(1.6MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5内-M20*1.5外防爆格兰头+5米线) 69 压力变送器(0-60MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,3米电缆,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5外防爆格兰头+3米线) 110 流量控制器(1MPa,1000L/min,1/2"FNPT,1％,NF3,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 1序号 名称 数量 备注

11 流量控制器(1MPa,1000L/min,1/2"FNPT,1％,N2,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 112 流量控制器(1MPa,1000L/min,1/2"FNPT,1％,He,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 113 储气罐（1.3MPa，50L，304不锈钢，配法兰） 114 储气罐（1.3MPa，1立方，304不锈钢，配法兰） 215 气动阀(20kpsi,3/8"MP,常闭) 316 安全阀(6kpsi,1/4"OD,4500-6000psi,SS316) 217 单向阀(20kpsi,3/8"MP,SS316,20psi开启,软座密封) 218 单向阀(3kpsi,1/2"FR阳螺纹,开启压力1psi,SS316) 319 单向阀/CheckValve(3kpsi,1/2"OD,开启压力1psi,SS316) 120 减压阀(3.5kpsi,5-500psi,1/4"FNPT,Cv0.15,SS316) 221 减压阀(6kpsi,10-600psi,3/8"FNPT,Cv0.3,SS316) 121 减压阀(3.5kpsi,1-50psi,1/4"FNPT,Cv0.06,SS316) 122 电-气比例阀（0.005～0.7MPa，4～20mA,±0.5%，Rc1/8，DC24V，防爆） 323 过滤调压阀(0.05-1MPa,G1/2",自排气,半自动排水,5μm) 124 电磁阀(先导式,21-114psi,1/4",铝合金,二位三通,24V,NC) 1925 真空泵(0.05Pa,100m3/h,KF40,3.0kw,380V,ExDIIBT4旋片式) 126 压力变送器(绝压-0.06MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,EXdIICT6) 127 针阀(20kpsi,3/8"MP,SS) 1

28 针阀（6kpsi,1/2"FR,SS） 1

29 在线式三氟化氮分析仪（NF3/He,NF3含量25-50%,4-20mA或RS485,需定制） 130 在线式三氟化氮分析仪（NF3/N2,NF3含量25-50%,4-20mA或RS485,需定制） 131 压力表(100mm,0-0.4MPa,M20x1.5,1.0精度) 1表6-2还原剂配气系统1（C2H4/N2/He,60NM3/h）组成清单序号 名称 数量 备注

1 隔膜压缩机(进气0.5-1MPa,输出35MPa,排量35NM3/h,介质C2H4/N2/He，功率15kw) 2序号 名称 数量 备注

2 气动波纹管阀(2.5kpsi,接口1/2"OD,NC) 133 气动波纹管阀(2.5kpsi,接口1/4"OD,NC) 34 过滤器(6kpsi,1/2"OD,SS316,7u,烧结式) 35 压力变送器(25MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,氢气H2,EXdIICT6,无显示,供电DC24V,电气接口M20*1.5外螺纹带5米电缆) 36 压力变送器(1.6MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5内-M20*1.5外防爆格兰头+5米线) 67 压力变送器(0-60MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,3米电缆,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5外防爆格兰头+3米线) 18 流量控制器(1MPa,200L/min,1%,C2H4,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 19 流量控制器(1MPa,1500L/min,1%,N2,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 110 流量控制器(1MPa,1500L/min,1%,He,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 111 储气罐（1.3MPa，50L，304不锈钢，配法兰） 112 储气罐（1.3MPa，1立方，304不锈钢，配法兰） 213 气动阀(20kpsi,3/8"MP,常闭) 314 安全阀(6kpsi,1/4"OD,4500-6000psi,SS316) 215 单向阀(20kpsi,3/8"MP,SS316,20psi开启,软座密封) 216 单向阀(3kpsi,1/2"OD,开启压力1psi,SS316) 417 减压阀(3.5kpsi,5-500psi,1/4"FNPT,Cv0.15,SS316) 218 减压阀(6kpsi,10-600psi,3/8"FNPT,Cv0.3,SS316) 119 减压阀/Regulator(3.5kpsi,1-50psi,1/4"FNPT,Cv0.06,SS316) 120 电-气比例阀（0.005～0.7MPa，4～20mA,±0.5%，Rc1/8，DC24V，防爆） 321 过滤调压阀Regul(0.05-1MPa,G1/2",自排气,半自动排水,5μm) 1序号 名称 数量 备注

21 电磁阀(先导式,21-114psi,1/4",铝合金,二位三通,24V,NC) 1922 真空泵(0.05Pa,100m3/h,KF40,3.0kw,380V,ExDIIBT4旋片式) 123 压力变送器(绝压-0.06MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,EXdIICT6) 124 针阀(20kpsi,3/8"MP,SS) 1

25 针阀（6kpsi,1/2"OD,SS） 1

26 在线式乙烯分析仪（C2H4/He,C2H4含量4-5%,4-20mA或RS485,需定制） 127 在线式乙烯分析仪（C2H4/N2,C2H4含量4-5%,4-20mA或RS485,需定制） 128 压力表(100mm,0-0.4MPa,M20x1.5,1.0精度) 1表6-3还原剂配气系统1（D2/He,55NM3/h）2组成清单序号 名称 数量 备注

1 隔膜压缩机(进气0.5-1MPa,输出35MPa,排量35NM3/h,介质D2/He，功率15kw) 22 气动波纹管阀(2.5kpsi,1/2"OD,NC) 113 气动波纹管阀(2.5kpsi,1/4"OD,NC) 34 过滤器(6kpsi,1/2"OD,SS316,7u,烧结式) 25 压力变送器(25MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,氢气H2,EXdIICT6,无显示,供电DC24V,电气接口M20*1.5外螺纹带5米电缆) 26 压力变送器(1.6MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5内-M20*1.5外防爆格兰头+5米线) 47 压力变送器(0-60MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,3米电缆,H2,EXdIICT6,电气接口M20*1.5外防爆格兰头+3米线) 18 流量控制器(1MPa,1000L/min,1％,He,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 19 流量控制器(1MPa,1000L/min,1％,D2,ExdIIBT6Gb,无本地显示,RS485,4-20mA) 110 储气罐（1.6MPa，50L，304不锈钢，配法兰） 111 储气罐（1.6MPa，1立方，304不锈钢，配法兰） 212 气动阀(20kpsi,3/8"MP,常闭) 313 安全阀(6kpsi,1/4"OD,4500-6000psi,SS316) 214 单向阀(20kpsi,3/8"MP,SS316,20psi开启,软座密封) 215 单向阀(3kpsi,1/2"OD,开启压力1psi,SS316) 316 减压阀(3.5kpsi,5-500psi,1/4"FNPT,Cv0.15,SS316) 217 减压阀(3.5kpsi,1-50psi,1/4"FNPT,Cv0.06,SS316) 118 电-气比例阀（0.005～0.7MPa，4～20mA,±0.5%，Rc1/8，DC24V，防爆） 219 过滤调压阀Regul(0.05-1MPa,G1/2",自排气,半自动排水,5μm) 120 电磁阀(先导式,21-114psi,1/4",铝合金,二位三通,24V,NC) 1921 压力变送器(绝压-0.06MPa,1/4"MNPT,0.25%,4-20mA,DC24V,EXdIICT6) 121 针阀(20kpsi,3/8"MP,SS) 1

22 针阀（6kpsi,1/2"OD,SS） 1

23 在线式氘气分析仪 1

24 压力表(100mm,0-0.4MPa,M20x1.5,1.0精度) 1

7、技术服务、质保、售后服务

7.1技术服务

设备设计完成后，将按用户要求，提供必要设计资料，并通过用户专家对设计方案的评审后，才能进行生产。

提供工程资料，配电系统图纸，配电平面图，产品资料，材料设备清单。安装结束后，工程人员将对全套设备各项指标按规定的项目逐一测试，直到验收合格，并填写安装调试，验收报告。

设备厂内完工，发货到用户现场后，中标方在15天之内完成设备的安装、调试工作，并配合完成验收。

故障响应时间为：24小时内到达现场。

根据用户的要求提供技术培训（包括基本原理，实际操作，简单故障分析和排除等），培训形式，时间和地点由用户决定。

7.2质保要求

系统及设备质量保证期为1年（自验收合格之日起12个月内）

质保期内中标方对由于设计，工艺或材料的缺陷而造成的任何缺陷或故障负责任，并对上述情况免费负责修理或更换有缺陷的零件

质保期内中标方提供全方位的技术支持及服务手段，包括电话热线、网线咨询等远程在线服务和快速的现场响应服务。如设备发生故障，将在接到通知后12小时内予以响应，24小时内到达现场，3日内排除故障。

保证提供的设备是全新的，未使用过的，并在各个方面符合协议规定的质量，规格和性能要求

设备在用户验收使用后，如果发生设备搬迁，中标方负责该设备的拆装、调试过程的技术支持。设备在用户验收通过并投入使用后，如用户进行设备数据采集系统的实施，中标方无偿配合其所提供的设备与用户的数据采集系统之间的数据集成工作。

工程结束后，按照电气工程施工验收规范进行验收。

7.3售后服务及培训

7.3.1售后服务及时性

现场技术服务的人员要求与职责：

派遣有经验的，身体健康，合格的工程技术人员到用户现场指导设备的安装、调试、性能考核试验以及用户操作人员的培训等工作

现场服务人员的任务主要包括设备催交、货物的检修、设备质量问题的处理、指导安装和调试、参加试运和性能验收试验

在调试前，技术服务人员应向用户进行技术交底，讲解和示范将要进行的程序和办法。

对重要工序，技术人员要对施工情况进行确认和签证，否则不能进行下一道工序。经确认和签证的工序如因技术服务人员的指导错误而发生问题，技术人员负全部责任

现场服务人员有权全权处理现场出现的一切技术和商务问题。如现场发生质量问题，现场人员要在用户规定的时间内处理解决。若不能在限定的时间内完成缺陷的消除，用户有权委托他人处理

现场服务人员的正常来去和更换事先与用户协商。

7.3.2培训

为使合同设备能正常安装、调试、运行、维护及检修，中标方免费负责提供相应的技术培训。培训内容应与工程进度相一致。中标方应在安装现场对用户人员进行至少5个工作日的免费操作培训，培训结束后应有双方签署的培训报告作为培训效果的评价。

培训计划和内容如下

序号 技术服务内容 派出人员构成 地点 备注

1 设备操作 工程师 用户现场

2 日常维护知识 工程师 用户现场

3 常见故障及排除方法 工程师 用户现场

8、技术资料

试验台操作说明书2份，试验台图纸及备份光盘2份。

软件安装包（软件备份光盘）及操作说明书2份。

设备合格证1份，主要成品外购件合格证或质量证明文件

试验台备件及易损件清单1份

研制总结报告1份。

试验台售后服务承诺书1份。

仪器仪表合格证、检定证书各1份。

安全阀校验报告1份。

管道X光探伤报告1份（若无焊缝则无需提供）。

强度试验报告1份。

9、系统验收

9.1整体要求

中标方提供的设备及附件不仅要符合技术要求中规定的技术指标和要求，而且应符合我国相关安全规章和法规。

设备验收时设备配备的仪器、仪表和测量设备校准的费用及其他产生的费用由中标方负责

终验收在用户设备安装现场，按技术协议要求对设备进行终验收。

9.2预验收要求

按技术协议要求在中标方制造厂对设备进行预验收；验收内容如下：

（1）外观验收

a.设备要求外观整洁、干净，外观应无明显磕碰、划伤、掉漆等现象。

b.各元件固定牢靠，不得有明显划伤。

c．软件运行界面清晰、操作简捷。

d.设备图纸应与实物相一致。

（2）技术指标验收

按照技术协议中规定的技术指标验收。

（3）功能验收

设备进行相关功能演示和实际操作，并通过试验件进行试验验证。

9.3终验收要求

预验收合格后，设备由中标方运送至用户指定地点，设备包装及运输：包装箱应用新的坚固的经过熏蒸的木箱或铁皮箱，适用于长途运输，防潮、防锈、防震、防粗暴装卸，适用于整体吊装。

设备到达使用场地后，进行现场安装、调试、终验收合格后设备方可交付。验收内容如下

（1）外观验收

a.设备要求外观整洁、干净，外观应无明显磕碰、划伤、掉漆等现象。

b.各元件固定牢靠，不得有明显划伤。

c．软件运行界面清晰、操作简捷。

d.设备图纸应与实物相一致。

（2）技术指标验收

按照技术协议所列技术指标进行验收。

（3）功能验收

在用户设备安装现场，由用户指定试验件进行验证。