双靶磁控溅射镀膜仪
公告要点
- 省份
- 河南 郑州
- 投标截止时间
- 2026-11-09 15:17 已结束
- 中标企业
- 郑州成越科学仪器有限公司
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双靶磁控溅射镀膜仪
发布时间：2026-11-04 15：17：58
截止时间：2026-11-09 15：17：26
基本信息：
申购主题：双靶磁控溅射镀膜仪
成交总额：182000.00 人民币
送货时间：合同签订后7天内送达
报价要求：
安装要求：免费上门安装（含材料费）
付款方式：货到验收合格后付款
收货地址：******
备注说明：
采购结果
序号 采购项 品牌/型号/厂家/产地 规格参数 质保及售后服务 数量单位/单价 成交总价 成交供应商
1 双靶磁控溅射镀膜仪 品牌：郑州成越科学仪器
型号：XY-CKM400S-2T
厂家：郑州成越科学仪器有限公司
产地：河南，郑州
1.电源输入：AC220V，50Hz 5KW2.样品台：外形尺寸φ150mm加热温度≦300℃ 控温精度±1℃ 可调转速≦20rpm，建议10rpm/min3.磁控靶枪：2英寸摆头靶2支,角度可调-45~45度，2个独立的电控气动挡板四个专用阳极罩，既可以防止交叉污染，又容易低气压起辉;
靶枪冷却水互锁保护4.靶材尺寸：最大4mm,直径50mm5.冷却方式：循环水冷，温度控制范围：10～25℃ 额定制冷量：0.75kW流量：10L/min，冷却水：纯净水6.真空腔体：腔体尺寸直径φ300mm，高度340mm 腔体材质SUU304不锈钢 观察窗口直径φ100mm7.气体控制：1路质量流量计用于控制Ar，量程：1-500scmm(可选) 额外预留一路气体接口8.真空阀门：高真空电控闸板阀1套；
高真空电控切断阀1套；
高真空电控旁抽阀1套9.溅射电源：直流电源功率500W*1台；
射频电源：300W*1台13.56MHz；
带有自动匹配器10.空压机：转速：1380转/分钟 流量：40升/分钟额定排气压力：0.7兆帕11.控制系统： CYKY自研专业级控制系统；
15.6寸PLC+触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；
语言可切换中英文12.图形可视化操作界面： 设备尺寸600mm×650mm×1280mm13.设备重量：550kg 按行业标准提供服务 数量单位：1.0 单价：182000.00(人民币) 182000.00(人民币) 郑州成越科学仪器有限公司