发明公布
实质审查的生效
一种应用于控制阀调节腔室压力的模型预测控制算法
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- 申请号
- CN202610091294.6
- 公开号
- CN121956539A
- 申请人
- 靖江佳晟真空技术有限公司
- 发明人
- 吴鑫；徐修亮；李宁；徐畅畅；宗涛；刘心辰；李超隆；李金昂；张宇轩
- 申请日
- 2026-01-23
- 公开日
- 2026-05-01
关联厂家档案
靖江佳晟真空技术有限公司
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