实用新型
专利权授予
一种原子沉积ALD隔膜阀
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- 申请号
- CN202321141780.2
- 公开号
- CN220435492U
- 申请人
- 江苏科维仪表控制工程有限公司
- 发明人
- 张勇；马荣臻；高健；唐洪波
- 申请日
- 2023-05-12
- 公开日
- 2024-02-02
关联厂家档案
江苏科维仪表控制工程有限公司
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