发明授权
专利权授予
基于腔体压力反馈的半导体真空阀自适应控制系统及方法
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- 申请号
- CN202610829680.0
- 公开号
- CN122387215A
- 申请人
- 凯斯特阀门集团有限公司
- 发明人
- 陈永煌；陈永裁
- 申请日
- 2026-06-10
- 公开日
- 2026-07-14
关联厂家档案
凯斯特阀门集团有限公司
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