发明公布
实质审查的生效
用于半导体槽式晶圆清洗的洁净型快排阀、清洗系统及组装方法
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- 申请号
- CN202610654067.X
- 公开号
- CN122191310A
- 申请人
- 科讯工业制造(深圳)有限公司
- 发明人
- 张生洲；黄国明；覃钰翔；彭海洪
- 申请日
- 2026-05-13
- 公开日
- 2026-06-12
关联厂家档案
科讯工业制造（深圳）有限公司
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