实用新型 专利权授予

一种用于半导体行业的高纯隔膜阀

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申请号
CN202222740794.8
公开号
CN218440779U
申请人
罗达莱克斯阀门(上海)有限公司
发明人
祁建鑫;蒋宏业;塞伦·斯蒂芬;梁峰
申请日
2022-10-18
公开日
2023-02-03

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