实用新型
专利权授予
一种用于晶圆抛光的旋转夹具
点击复制后，可直接粘贴至 国家知识产权局专利公布公告 检索框，核验专利真伪与法律状态。
- 申请号
- CN202121142773.5
- 公开号
- CN215470362U
- 申请人
- 四川上特科技有限公司
- 发明人
- 李健儿；冯永；张正；胡仲波；鲜贵容
- 申请日
- 2021-05-26
- 公开日
- 2022-01-11
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