实用新型
专利权授予
一种晶圆端磨工装
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- 申请号
- CN202121265757.5
- 公开号
- CN214722904U
- 申请人
- 四川上特科技有限公司
- 发明人
- 李健儿；冯永；张正；胡仲波；鲜贵容
- 申请日
- 2021-06-08
- 公开日
- 2021-11-16
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