发明授权
专利权授予
一种晶圆打磨装置
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- 申请号
- CN202511350230.5
- 公开号
- CN120839609A
- 申请人
- 四川上特科技有限公司
- 发明人
- 冯艾诚；李健儿；冯永；张正；胡仲波
- 申请日
- 2025-09-22
- 公开日
- 2025-10-28
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