发明公布
实质审查的生效
一种晶圆缺陷智能检测与分类识别方法及系统
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- 申请号
- CN202610687928.4
- 公开号
- CN122510234A
- 申请人
- 江西上特科技有限公司
- 发明人
- 冯艾诚；李健儿；冯永；龙凤；李琼英
- 申请日
- 2026-05-19
- 公开日
- 2026-08-04
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