一种半导体清洗设备用钣金件
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- 申请号
- CN202320959517.8
- 公开号
- CN219836867U
- 申请人
- 苏州图瑞尔精密机械有限公司
- 发明人
- 陈洪锦；韦冬冬
- 申请日
- 2023-04-25
- 公开日
- 2023-10-17
- 代理机构
- 苏州共立专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 张苏嫚
- 申请人地址
- 215200 江苏省苏州市吴中区胥口镇东山大道10722号4幢
- 分类号（IPC）
- B08B3/02, B08B13/00, B01D29/03
摘要
本实用新型公开了一种半导体清洗设备用钣金件，涉及半导体清洗技术领域，包括工作台，工作台的上表面固定设置有壳体，壳体上内壳面靠近中心的位置固定设置有隔板，隔板将壳体内分为清洗区和烘干区，壳体靠近清洗区的上表面开设有滑槽，壳体远离滑槽的一侧上表面固定设置有电动推杆，电动推杆的推杆部推动连接有连接环体，壳体的一侧表面固定设置有清洗壳体，清洗壳体内连通设置有清洗软管，清洗软管的一端连通设置有清洗喷淋头，清洗喷淋头的下方对称设置有一组滑道，滑道内设置有滑块，滑块连接有若干组固定半导体的连接组件，连接组件的下方设置有钣金收集壳体，具备了提高对半导体的清洗效果，保证了结构的整体性能及钣金件的使用寿命。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种半导体清洗设备用钣金件，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定设置有壳体(2)，所述壳体(2)上内壳面靠近中心的位置固定设置有隔板(17)，所述隔板(17)将所述壳体(2)内分为清洗区和烘干区，所述壳体(2)靠近所述清洗区的上表面开设有滑槽(15)，所述壳体(2)远离所述滑槽(15)的一侧上表面固定设置有电动推杆(14)，所述电动推杆(14)的推杆部推动连接有连接环体(16)，所述壳体(2)的一侧表面固定设置有清洗壳体(11)，所述清洗壳体(11)内连通设置有清洗软管(12)，所述清洗软管(12)的管部限位设置在所述连接环体(16)内，且滑动设置在所述滑槽(15)内，所述清洗软管(12)的一端连通设置有清洗喷淋头(13)；/n所述清洗喷淋头(13)的下方对称设置有一组滑道(4)，所述滑道(4)内设置有滑块(5)，所述滑块(5)连接有若干组固定半导体的连接组件，所述连接组件的下方设置有钣金收集壳体(19)。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。