一种基于自适应PID算法的真空镀膜阀门智能控制系统
点击复制后，可直接粘贴至 国家知识产权局专利公布公告 检索框，核验专利真伪与法律状态。
- 申请号
- CN202511731734.1
- 公开号
- CN121232575A
- 申请人
- 无锡友孚科技有限公司
- 发明人
- 邹延彬；杨德恒
- 申请日
- 2025-11-24
- 公开日
- 2025-12-30
- 代理机构
- 34239 合肥北极牛知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
- 代理人
- 王馨颐
- 申请人地址
- 214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园22号楼（A5栋）101室
- 分类号（IPC）
- G05B11/42(2006.01)
摘要
本发明公开了一种基于自适应PID算法的真空镀膜阀门智能控制系统，包括多源过程数据采集模块，用于采集多源过程数据并进行预处理，形成多变量时间序列数据；变量图构建模块，用于将多变量时间序列数据映射为真空镀膜变量图；改进CSPNet模型参数生成模块，用于通过跨阶段特征提取和工况预测，输出候选比例系数、候选积分系数和候选微分系数；初始控制量生成模块，用于计算初始控制量；自适应PID参数更新模块，用于得到更新后的PID参数；PID控制执行模块，用于对真空度和工艺气体流量的闭环智能调节。本发明通过改进CSPNet模型与自适应PID调节结合，实现了真空镀膜阀门的智能稳定控制。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种基于自适应PID算法的真空镀膜阀门智能控制系统，其特征在于，包括如下模块：多源过程数据采集模块，用于采集多源过程数据并进行预处理形成多变量时间序列数据；变量图构建模块，用于根据物理结构关系和耦合关系，将多变量时间序列数据映射为真空镀膜变量图；改进CSPNet模型参数生成模块，用于接收真空镀膜变量图并通过跨阶段特征提取和工况预测，输出候选比例系数、候选积分系数和候选微分系数；初始控制量生成模块，用于根据控制误差并依据候选比例系数、候选积分系数和候选微分系数计算初始控制量；自适应PID参数更新模块，用于根据初始控制量通过三通道自适应方式对候选PID参数分别进行修正，得到更新后的PID参数；PID控制执行模块，用于按照更新后的PID参数重新计算控制量，并驱动真空镀膜阀门执行平台，对真空度和工艺气体流量的闭环智能调节。
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。