发明公布
专利申请公布后的撤回
一种用于表面镀膜的平面阴极
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- 申请号
- CN201910642912.1
- 公开号
- CN110273131A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2019-07-17
- 公开日
- 2019-09-24
- 代理机构
- 32306 镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 邓月芳
- 申请人地址
- 212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(20060101)
摘要
本发明公开了一种用于表面镀膜的平面阴极，包括底板；所述底板上表面的中部设有呈长条形的主磁体，所述主磁体的两侧均设有辅磁体，所述的辅磁体与底板的上表面相连，辅磁体的外侧均连有导磁板组，所述的导磁板组包括两块相对设置的导磁板，所述的导磁板紧贴在辅磁体的外侧壁上，导磁板的高度沿辅磁体的端部向中心处逐渐减小，将匀磁板设置为两端向中心高度依次减小的形状，可以有效的减少中心处的磁场强度并增强边缘处的磁场强度，从而起到将磁场均匀分布的目的。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种用于表面镀膜的平面阴极，其特征在于，包括底板；所述底板上表面的中部设有呈长条形的主磁体，所述主磁体的两侧均设有辅磁体，所述的辅磁体与底板的上表面相连，辅磁体的外侧均连有导磁板组，所述的导磁板组包括两块相对设置的导磁板，所述的导磁板紧贴在辅磁体的外侧壁上，导磁板的高度沿辅磁体的端部向中心处逐渐减小。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司