发明授权
专利权授予
一种应用于阴极平台的智能温控装置
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- 申请号
- CN202110838861.7
- 公开号
- CN113667947A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2021-07-23
- 公开日
- 2021-11-19
- 代理机构
- 32306 镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 刘兰
- 申请人地址
- 212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(20060101)
摘要
本发明涉及磁控溅射镀膜技术领域，且公开了一种应用于阴极平台的智能温控装置，解决了平面阴极在使用长时间后其表面的温度会上升而影响镀膜效果的问题，其包括平面阴极主体，所述平面阴极主体的底部安装有安装板，安装板的顶部安装有导气盒，导气盒的底部安装有安装盒，导气盒的一侧安装有蓄水盒，蓄水盒的一侧等距离开设有进气口，蓄水盒与导气盒之间等距离开设有导气口，导气盒的一侧等距离开设有排气口；本阴极平台的智能温控装置带有有效的降温功能，能够对温度上升的平面阴极进行有效的降温操作，从而确保了平面阴极能够安全且稳定的进行运行，也有效的保障了镀膜的效果，因此，本阴极平台的智能温控装置能够满足磁控溅射镀膜的使用需求。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种应用于阴极平台的智能温控装置，包括平面阴极主体(1)，其特征在于：所述平面阴极主体(1)的底部安装有安装板(2)，安装板(2)的顶部安装有导气盒(3)，导气盒(3)的底部安装有安装盒(4)，导气盒(3)的一侧安装有蓄水盒(5)，蓄水盒(5)的一侧等距离开设有进气口(6)，蓄水盒(5)与导气盒(3)之间等距离开设有导气口(7)，导气盒(3)的一侧等距离开设有排气口(8)，导气口(7)位于导气盒(3)内部的一端以及排气口(8)位于导气盒(3)外部的一端均安装有密封挡盖(9)，导气盒(3)的内部安装有吸排风组件，安装盒(4)的内部安装有动力组件，动力组件与吸排风组件连接，安装板(2)的底部且位于导气盒(3)的内部等距离安装有导热片(12)。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司