实用新型 专利权授予

一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备

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申请号
CN202121699376.8
公开号
CN216074018U
申请人
镇江市德利克真空设备科技有限公司
发明人
匡国庆
申请日
2021-07-26
公开日
2022-03-18

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