发明授权
专利权授予
一种可调式的磁控溅射镀膜设备
点击复制后，可直接粘贴至 国家知识产权局专利公布公告 检索框，核验专利真伪与法律状态。
- 申请号
- CN202210866505.0
- 公开号
- CN115261814A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2022-07-22
- 公开日
- 2022-11-01
- 代理机构
- 镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 刘兰
- 申请人地址
- 212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/56, C23C14/35, C23C14/54
摘要
本发明涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种可调式的磁控溅射镀膜设备，解决了镀膜厚度改变，造成镀膜效率改变的问题，其包括放卷室，所述放卷室的底端安装有溅射室，放卷室的两侧对称开设有放卷口，放卷口的内部插接有柔性基片，柔性基片的底端对称安装有传动轴，传动轴的一端外侧安装有皮带，皮带的内侧啮合连接有第二电机的输出齿轮；本发明，在工作中，通过设置的压板向下移动后，从而推动连接杆向下移动，继而推动活动底块向下移动，而活动底块向下移动后，带动活动底块下方的柔性基片与磁控溅射阴极的距离变近，从而使得镀膜时溅射距离变短，从而使得一定时间内，在同一位置的溅射量增多，从而使得镀膜量增多，从而使得镀膜变厚。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种可调式的磁控溅射镀膜设备，包括放卷室(1)，其特征在于：所述放卷室(1)的底端安装有溅射室(2)，放卷室(1)的两侧对称开设有放卷口(3)，放卷口(3)的内部插接有柔性基片(4)，柔性基片(4)的底端对称安装有传动轴(6)，传动轴(6)的一端外侧安装有皮带(7)，皮带(7)的内侧啮合连接有第二电机(9)的输出齿轮，第二电机(9)与放卷室(1)固定连接，皮带(7)的顶端对称设有限位杆(8)，限位杆(8)与放卷室(1)固定连接，放卷室(1)的内部安装有距离调节组件(5)。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司