发明授权
专利权授予
一种旋转阴极
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- 申请号
- CN202210875567.8
- 公开号
- CN115094394A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2022-07-25
- 公开日
- 2022-09-23
- 代理机构
- 镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 刘兰
- 申请人地址
- 212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35
摘要
本发明公开了一种旋转阴极，涉及到阴极领域，包括阴极壳体，阴极壳体中设置有阴极槽，阴极槽内设置有旋转阴极，阴极壳体的外侧设置有驱动旋转阴极转动的传动单元，旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，阴极壳体的内部设置有支撑在旋转阴极底部用于减少旋转阴极转动时离心力的稳定机构，为了解决旋转磁控溅射阴极在转动时会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低的现象，在旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，限位转动机构可限制旋转阴极转动时不会偏移，降低旋转阴极晃动的现象，从而减少旋转阴极长时间震动或者晃动造成的密封性降低现象。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种旋转阴极，包括阴极壳体(1)，其特征在于：所述阴极壳体(1)中设置有阴极槽(2)，阴极槽(2)内设置有旋转阴极(3)，所述阴极壳体(1)的外侧设置有驱动旋转阴极(3)转动的传动单元(4)，所述旋转阴极(3)的端部与阴极壳体(1)之间设置有限位转动机构，所述阴极壳体(1)的内部设置有支撑在旋转阴极(3)底部用于减少旋转阴极(3)转动时离心力的稳定机构(6)，所述阴极壳体(1)的底面中部固定设置有推动稳定机构(6)靠近旋转阴极(3)的推动单元(7)，所述推动单元(7)的两侧均设置有支撑在稳定机构(6)底部与阴极壳体(1)底部之间的伸缩组件(9)，所述稳定机构(6)中设置有修复旋转阴极(3)表面凹陷位置的修补机构。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司