发明授权
专利权授予
一种用于微小零件的专用型阴极平台
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- 申请号
- CN202210883986.6
- 公开号
- CN115287615A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2022-07-26
- 公开日
- 2022-11-04
- 代理机构
- 镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 刘兰
- 申请人地址
- 212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35
摘要
本发明涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种用于微小零件的专用型阴极平台，解决了靶材厚度减小后，使得对柔性基材表面的镀膜率降低，从而造成靶材浪费的问题，其包括底座，所述底座的顶端安装有中部板，中部板的两侧对称安装有阴极体，阴极体的底端等距安装于绝缘支架，阴极体的顶端开设有环形槽；本发明，在工作中，通过设置的齿条移动后，带动转块转动，而转块两端的螺槽内部的螺杆内部开设有限位槽，限位板插接于限位槽内部，使得在转块转动后，带动螺杆横向移动，继而推动两侧的顶块顺着弧槽向上移动，从而将磁靴顶起，从而使得磁靴在靶材处的磁场增大，从而使得靶材对柔性基片的镀膜能力提高，使得靶材表面溅射距离增加。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种用于微小零件的专用型阴极平台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端安装有中部板(2)，中部板(2)的两侧对称安装有阴极体(3)，阴极体(3)的底端等距安装于绝缘支架(4)，阴极体(3)的顶端开设有环形槽(5)，环形槽(5)的内部安装有磁靴(6)，磁靴(6)的内部安装有磁铁，环形槽(5)的顶端安装有第一压板(7)，第一压板(7)的顶端安装有第二压板(8)，阴极体(3)的内部安装有调距机构(9)。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司