实用新型
专利权授予
一种镀膜设备阴极供气装置
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- 申请号
- CN202320672510.8
- 公开号
- CN219490142U
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆；匡静；万安江
- 申请日
- 2023-03-30
- 公开日
- 2023-08-08
- 代理机构
- 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 严靖
- 申请人地址
- 212000 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35, C23C14/54
摘要
本实用新型公开一种镀膜设备阴极供气装置，包括集成气路板，在所述集成气路板内开设有多条平行或相交的气路，该镀膜设备阴极供气装置配置三个进气嘴快换接头，能够同时连接三种不同的气源，满足真空镀膜设备多种气体供应的要求，并且还配置四个出气嘴快换接头，通过不同气路的组合能够输出单一气体，也能够输出多种混合气体，同时每条气路上均设置有流量计，通过调节流量计，使得出气嘴快换接头能够输出不同流量的单一气体或者不同比例的混合气体，从而满足大部分真空镀膜设备供气的需求。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，包括集成气路板（1），在所述集成气路板（1）内开设有多条平行或相交的气路，/n所述集成气路板（1）一侧设置有多个与气路相连通的进气嘴快换接头（2）；且每个所述进气嘴快换接头（2）对应的气路分别配备有电磁阀（3），通过所述电磁阀（3）控制所述进气嘴快换接头（2）端气路内气体的通断；/n所述集成气路板（1）另一侧设置有多个气路相连通的出气嘴快换接头（4）；且每个所述出气嘴快换接头（4）对应的气路分别配备有手动阀（5），通过所述手动阀（5）控制所述出气嘴快换接头（4）端气路内气体的通断；/n在所述集成气路板（1）上还设置有多个流量计（6），所述集成气路板（1）与所述集成气路板（1）内开设的气路连接，通过所述流量计（6）来控制每条气路气体的流量。/n
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司