一种真空磁控镀膜旋转阴极的端头及其工作方法
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- 申请号
- CN202410100093.9
- 公开号
- CN118407005A
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2024-01-24
- 公开日
- 2024-07-30
- 代理机构
- 32358 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 严靖
- 申请人地址
- 212000 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(2006.01)
摘要
本发明公开了一种真空磁控镀膜旋转阴极的端头及其工作方法，包括主轴，主轴内侧设置有导电环，主轴前端设置有靶材连接法兰，导电环的外侧与靶材连接法兰的内侧接触，主轴的内部及后端设置有冷却组件，主轴的外部设置有外壳，主轴的后侧与冷却组件之间设置有水密封组件，主轴的前侧与外壳之间设置有真密油封组件，外壳的后端设置有封板，封板与冷却组件之间设置有绝缘垫。本发明通过在冷却组件上连接导电柱和导电块，使冷却组件中的进水板和进水轴，既作为冷却水的流通结构，又作为连接导电柱和导电块的导电结构，可以减少端头内部部件的数量，使整个端头的结构更加紧凑，体积更小，占用空间更少，使其能够适应更多非常规的腔体空间。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种真空磁控镀膜旋转阴极的端头，其特征在于：包括主轴（1），所述主轴（1）内侧设置有导电环（2），所述主轴（1）前端设置有靶材连接法兰（3），所述导电环（2）的外侧与靶材连接法兰（3）的内侧接触；所述主轴（1）的内部及后端设置有冷却组件（4），所述导电环（2）套接在主轴（1）内部的冷却组件（4）上，所述主轴（1）后端的冷却组件（4）上设置有导电柱（5）；所述主轴（1）的外部设置有外壳（6），所述主轴（1）的后侧与冷却组件（4）之间设置有水密封组件（7），所述主轴（1）的前侧与外壳（6）之间设置有真空密封组件（8）；所述主轴（1）与外壳（6）之间设置有旋转支撑组件（9），所述旋转支撑组件（9）位于在真空密封组件（8）和水密封组件（7）之间；所述外壳（6）的后端设置有封板（10），所述封板（10）与冷却组件（4）之间设置有绝缘垫（11）。
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。