实用新型
专利权授予
一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构
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- 申请号
- CN202422847468.6
- 公开号
- CN223951151U
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2024-11-21
- 公开日
- 2026-02-27
- 代理机构
- 32358 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 陆耀琪
- 申请人地址
- 212000 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(2006.01)
摘要
本实用新型公开一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构。采用本实用新型的可调磁棒时，通过观察工件表面靶材沉积层的均匀性，当观察到工件表面某处的沉积层不均匀时，即表示可调磁棒对应区域的磁场不均匀，此时在磁控溅射设备不停机的情况下，通过程序控制对应区域的微型电机工作，微型电机带动螺纹套筒旋转，并使得与其螺纹连接述螺纹杆沿中心轴线移动，从而带动该区域的变形安装板变形，以调整该区域变形安装板上的磁块与靶材之间的距离；最后观察下一工件表面靶材沉积层的均匀性，以实现磁场在线调节的目的。与现有的可调磁棒产品相比，调节精度更高，且能够实现在线调节，降低靶材的浪费以及减少调节的时间。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构，其特征在于，包括壳体组件（1）、磁场组件（2）以及多个在线调节组件（3）；所述磁场组件（2）设于所述壳体组件（1）一侧，并沿其长度方向布置；多个所述在线调节组件（3）沿长度方向间隔安装于所述壳体组件（1）和所述磁场组件（2）之间；并且每个所述在线调节组件（3）均为单独控制，能够单独调节对应区域的磁场组件（2）。
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司