实用新型
专利权授予
一种螺旋式靶材抱箍
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- 申请号
- CN202423231971.5
- 公开号
- CN223738112U
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆；万安江；朱宣明
- 申请日
- 2024-12-26
- 公开日
- 2025-12-30
- 代理机构
- 32358 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 陆耀琪
- 申请人地址
- 212000 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(2006.01), H01J37/34(2006.01)
摘要
本实用新型公开一种螺旋式靶材抱箍，包括第一箍体和第二箍体；所述第一箍体和所述第二箍体相互拼接后通过螺栓锁紧固定，从而将靶材与旋转阴极的连接端密封连接；所述第一箍体和所述第二箍体内壁开设有顺接的螺纹槽，用于放置螺旋金属密封圈，随靶材抱箍的旋转，将螺旋金属密封圈旋入靶材外壁的密封槽内。采用本实用新型的螺旋式靶材抱箍，只需将靶材抱箍套设于靶材密封端，随后持续旋转靶材抱箍即可将螺旋金属密封圈旋入靶材外壁的密封槽内，使得金属密封圈可以更准确地贴合靶材，提供更高的固定力和稳定性。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种螺旋式靶材抱箍，其特征在于，包括第一箍体（1）和第二箍体（2）；所述第一箍体（1）和所述第二箍体（2）相互拼接后通过螺栓锁紧固定，从而将靶材与旋转阴极的连接端密封连接；所述第一箍体（1）和所述第二箍体（2）内壁开设有顺接的螺纹槽（3），用于放置螺旋金属密封圈，随靶材抱箍的旋转，将螺旋金属密封圈旋入靶材外壁的密封槽内。
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司