实用新型
专利权授予
一种具有磁场调节功能的靶芯
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- 申请号
- CN202520546023.6
- 公开号
- CN224062877U
- 申请人
- 镇江市德利克真空设备科技有限公司
- 发明人
- 匡国庆
- 申请日
- 2025-03-26
- 公开日
- 2026-03-31
- 代理机构
- 32358 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人
- 陆耀琪
- 申请人地址
- 212000 江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
- 分类号（IPC）
- C23C14/35(2006.01), C23C14/54(2006.01)
摘要
本实用新型公开一种具有磁场调节功能的靶芯，包括多个调节机构，沿靶芯本体长度方向均匀布设；所述调节机构一端与所述靶芯本体固定连接，另一端与所述靶芯本体内部的磁铁组件相连；且每个所述调节机构均为独立工作，从而通过单个调节机构调节对应位置磁铁组件的高度，从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。该具有磁场调节功能的靶芯中的调节机构内设有层叠设置的多个第一调节垫片和第二调节垫片，且通过增加第一调节垫片的数量能够向上调节磁铁组件的高度，而通过增加第二调节垫片的数量能够向下调节磁铁组件的高度；随调节杆的运动调节对应位置磁铁组件的高度，从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。
摘要为国家知识产权局公开著录项原文，未作改写。
权利要求
1.一种具有磁场调节功能的靶芯，其特征在于，包括多个调节机构（10），沿靶芯本体（20）长度方向均匀布设；所述调节机构（10）一端与所述靶芯本体（20）固定连接，另一端与所述靶芯本体（20）内部的磁铁组件（30）相连；且每个所述调节机构（10）均为独立工作，从而通过单个调节机构（10）调节对应位置磁铁组件（30）的高度，从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。
以上为公开文本原文，未作改写；权利要求范围以国家知识产权局公告文本为准。
关联厂家档案
镇江市德利克真空设备科技有限公司