镇江市德利克真空设备科技有限公司专利技术

一种密集型硅片镀膜载板装置 实用新型 2022-10-26 专利权授予 一种旋转阴极从动端连接结构 实用新型 2022-10-18 专利权授予 一种用于磁控溅射镀膜设备的高稳定性绝缘支架 发明授权 2022-07-26 专利权授予 一种用于微小零件的专用型阴极平台 发明授权 2022-07-26 专利权授予 一种阴极平台的可调式实时供气装置 发明公布 2022-07-25 专利申请公布后的驳回 一种旋转阴极 发明授权 2022-07-25 专利权授予 一种高强度的组装式磁棒 发明公布 2022-07-22 一种可调式的磁控溅射镀膜设备 发明授权 2022-07-22 专利权授予 一种高功率的高效型平面阴极溅射镀膜设备 实用新型 2022-07-21 专利权授予 一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备 实用新型 2021-07-26 专利权授予 一种高压管道用高安全性的管接头 实用新型 2021-07-26 专利权授予 一种磁控溅射镀膜系统用可调式供气系统 实用新型 2021-07-26 专利权授予 一种高靶材利用率的平面磁控溅射阴极装置 实用新型 2021-07-26 专利权授予 一种可调式平面阴极结构及其镀膜设备 实用新型 2021-07-26 专利权授予 一种应用于阴极平台的智能温控装置 发明授权 2021-07-23 专利权授予 用于旋转阴极接头处的高密封性连接装置 发明授权 2021-07-23 专利权授予 一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台 发明授权 2021-07-23 专利权授予 一种用于平面阴极装置的升降式调整装置 发明公布 2021-07-23 实质审查的生效 一种用于气管连接的平面密封结构 实用新型 2020-08-19 专利权授予 一种用于不锈钢液冷板的安装结构 实用新型 2020-08-19 专利权授予 一种用于磁棒焊接的焊接夹具 发明公布 2020-08-19 专利申请公布后的撤回 一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机 发明公布 2020-08-19 专利申请公布后的撤回 一种可快速拔插的管接头 实用新型 2020-08-19 专利权授予 一种高散热的旋转阴极 实用新型 2019-07-17 专利权的终止（未缴年费） 一种速冷型平面阴极 实用新型 2019-07-17 专利权的终止（未缴年费） 一种用于磁控溅射系统的平面阴极 实用新型 2019-07-17 专利权的终止（未缴年费） 一种用于表面镀膜的平面阴极 实用新型 2019-07-17 专利权的终止（未缴年费） 一种高散热的旋转阴极 发明公布 2019-07-17 专利申请公布后的撤回 一种用于磁控溅射系统的平面阴极 发明公布 2019-07-17 专利申请公布后的撤回 一种可调式平面阴极 发明公布 2019-07-17 专利申请公布后的撤回